兩探針直流電阻率測試儀 FT-300TZ 棒狀半導體材料電阻電導率檢測裝置
發布時間： 2026-06-28 11:41:12 點擊： 21
1. 產品介紹
ROOKO 瑞柯微 FT-300TZ 兩探針電阻率測試儀由寧波瑞柯析理儀器經銷，專為棒狀半導體材料縱向電學性能檢測打造，遵循 GB/T 1551-2021、SEMI MF 397-1106 標準兩探針測試規范。
設備搭配鎢探針測量平臺，針對長徑比不小于 3:1 圓形、方形、矩形硅單晶棒完成電阻、電阻率、電導率采集；支持自動正負電流 / 電壓換向測量，內置溫度補償運算程序，液晶面板同步展示全套電學參數，選配 PC 分析程序可完成數據留存、報表導出，適配光伏拉晶車間、半導體材料工廠、高校新材料實驗室、合作檢測機構物性試驗。
2. 產品特點
- 兩探針檢測架構，適配長棒狀硅芯、硅錠縱向電阻率檢測，弱化邊緣測試帶來的數據偏差
- 自動切換正向、反向電流與電壓回路，抵消熱電勢帶來數值偏移，數據穩定
- 內置溫度補償換算程序，適配 23℃標準測試環境，無需人工換算修正參數
- 一體化鎢探針測試平臺，探針游移誤差可控，接觸點位統一，復測一致性優良
- 探針絕緣規格充足，探針間絕緣電阻大于 10?歐，規避漏電流干擾測量結果
- 多檔位直流恒流輸出，微安至安級電流覆蓋低阻至高阻半導體材料測量區間
- 液晶大屏同步顯示電阻、電阻率、電導率、溫度、試樣尺寸、電流電壓全套數據
- 探針間距、硅棒夾持尺寸均可按需定制，適配多規格硅芯、檢驗棒
- 選配中英文 PC 數據分析程序，自動記錄全過程數據，生成可導出測試報表
- 整機 220V 常規供電，結構緊湊，實驗室、產線工位均可放置使用
3. 工作原理
FT-300TZ 依據國標與 SEMI 兩探針測試規范設計，將兩根鎢探針垂直壓合于均勻棒狀半導體試樣表面，主機輸出可控恒定直流電流，采集探針之間微小電壓信號；設備錄入試樣截面尺寸、長度參數，內置運算單元依據兩探針法計算公式自動換算試樣縱向電阻、體積電阻率、電導率。
設備自動輪換正負測試回路取均值，降低珀爾帖、塞貝克副效應影響；同步采集環境溫度，調用半導體溫度系數完成標準化換算；選配電腦端程序實時同步存儲測量數據，形成完整測試記錄，用于材料均勻度分析與出廠質檢歸檔。
4. 技術參數（表格）
| 參數項目 | 詳細規格 |
|---|---|
| 電阻率測量范圍 | 10??～2×10? Ω·cm |
| 電阻量程 | 10??～2×10? Ω |
| 電導率區間 | 5×10??～10? S/cm |
| 電阻分辨率 | 0.1μΩ，測量誤差 ±（0.05% 讀數 ±5 字） |
| 電壓測量檔位 | 2mV/20mV/200mV/2V；分辨率 0.1μV~100μV，精度 ±0.1% 讀數 |
| 直流輸出電流 | 0~1000mA 連續可調；檔位 0.1μA/1μA/10μA/100μA/1mA/10mA/1000mA，誤差 ±0.2% 讀數 ±2 字 |
| 標準測試溫度 | 23℃±1℃ |
| 主機供電 | AC220V±10%，50/60Hz |
| 標配探針平臺參數 |
1. 適配硅棒直徑 4~22mm（可定制）
|
| 適配試樣條件 | 橫截面積均勻圓形 / 方形 / 矩形硅單晶，長度與截面尺寸比值≥3:1 |
| 配套通用標準 | GB/T 1551-2021，SEMI MF 397-1106 |
| 顯示內容 | 電阻、電阻率、電導率、溫度、截面尺寸、電流、電壓、單位自動換算 |
5. 適用范圍
- 光伏行業：單晶硅棒、硅芯、檢驗硼棒 / 磷棒縱向電阻率出廠抽檢、拉晶工藝管控
- 半導體產業：硅單晶錠、長條半導體基體材料電學均勻度檢測
- 新材料實驗室：高校、科研院所棒狀半導體材料導電特性課題試驗
- 合作檢測機構：執行國標、SEMI 標準硅材料型式檢驗、來料檢測
- 適配試樣形態：長徑比≥3:1 圓形、方形、矩形均勻半導體棒材，可定制夾具適配異型長條導電試樣
6. 操作流程（簡潔）
- 儀器接通 220V 電源，開機靜置至設備達到 23℃標準測試環境；
- 將硅棒試樣平穩放置于兩探針測試平臺，調整夾持位置使探針垂直貼合試樣表面；
- 在顯示界面錄入試樣直徑 / 截面尺寸、長度參數；
- 選定適配測試電流檔位，啟動自動測量；
- 設備自動正負換向采集數據，屏幕同步讀取電阻、電阻率、電導率；
- 選配 PC 軟件同步留存數據，測試完成導出、打印試驗報表；
- 測量完成抬起探針，取下試樣，關閉設備電源并清潔探針平臺。
7. 配套服務項目（簡潔）
- 售后服務：線上遠程技術調試，故障無法遠程處理時提供到場檢修服務
- 延保服務：可選購 1 至 3 年整機延保周期，降低后期維護支出
- 樣品測試：寄送硅棒待測樣品至實驗室，提供檢測配套服務并出具計量證書
- 增值配套：儀器定期計量校準、探針 / 平臺尺寸個性化定制、耗材補給、設備技術升級
8. 包裝選配配件（表格）
| 序號 | 配件名稱 | 單位 | 配置類型 | 備注 |
|1|PC 數據分析軟件 | 套 | 選購 | 中英文雙語，數據存儲報表導出 |
|2 | 標準校準電阻 | 個 | 選購 | 1-5 個按需搭配，儀器校驗使用 |
|3 | 電腦 + 打印設備 | 套 | 選購 | 配套軟件數據輸出 |
|4 | 定制鎢探針組件 | 組 | 選購 | 適配 1300℃高溫工況可定制 |
|5 | 大尺寸硅棒平臺 | 套 | 選購 | 直徑大于 22mm 硅棒適配 |
|6 | 整機延保服務 | 年 | 選購 | 可選 1/2/3 年周期 |
|7 | 儀器計量檢測服務 | 份 | 選購 | 出具正規計量證書 |
9. 售后服務（簡潔）
- 整機出廠配置基礎質保周期，質保周期內非人為損壞零部件、基礎檢修無額外耗材支出；
- 技術團隊全程線上調試指導，故障無法遠程處置可安排到場檢修；
- 儀器過保后可選購延保服務，延長整機保修時長；
- 長期供給鎢探針、測試線、標準電阻等配套耗材；
- 可預約儀器定期計量校準，保障測量數值合規穩定。
10. FAQ 常見問題
Q1：FT-300TZ 能否測量短硅片、方形薄片？
A1：設備針對長棒試樣設計，試樣長徑比需≥3:1；薄片、方形短試樣可選用 FT-331 四探針系列設備。
Q2：探針間距、硅棒直徑可以后期調整嗎？
A2：可增購定制探針組件與加寬測試平臺，適配不同規格硅芯、硅錠檢測需求。
Q3：無電腦能否完成檢測？
A3：無電腦可依靠液晶屏讀取實時電阻率、電導率數值，數據存儲、報表打印功能需搭配 PC 軟件。
Q4：測試數值波動偏大如何處理？
A4：檢查探針是否磨損、硅棒表面是否氧化，同時更換標準電阻完成整機校準。
Q5：設備是否滿足光伏行業進廠質檢標準？
A5：設備完全匹配 GB/T 1551、SEMI MF397 兩探針檢測規范，可用于產線日常抽檢與型式試驗。
11. 關聯產品（簡潔）
- FT-351 高溫四探針測試儀：半導體晶片高溫方阻、電阻率高溫檢測設備
- FT-300B 電線電纜電阻率測試儀：銅鋁線材導體直流電阻檢測儀器
- FT-331 全自動四探針測試儀：硅片、薄膜方塊電阻常溫測量設備
- FT-8600 粉末電阻率測試儀：半導體粉體常溫導電性能分析儀
- LX-9831 電壓降測試儀：線束端子溫升壓降綜合檢測設備
